ナノチューブで超微細な立体回路

カーボンナノチューブで超微細な立体回路を作ることに、産業技術総合研究所が成功した。
集積回路の小型化や高感度センサーの開発などに弾みがつくと期待される。
シリコンの基板上に約800度に熱したガス状の炭素を吹き付けてナノチューブを合成。
それらを半導体加工に使う技術を応用して加工した。
その結果、１万分の１ミリ・メートルほどの極細の配線や立体的な構造を作ることが可能になった。